Полностью название закупки звучит как «ОКР “Разработка и освоение производства гелий-неоновых лазеров и фотоприёмников для систем позиционирования оборудования, применяемого в производстве ИС с топологическими нормами до 65 нм”, шифр “Прогресс-Позиция”». Информацию о ней разместили 22 ноября. Сроком окончания подачи заявок указывается 9 декабря. Начальная (максимальная) цена контракта составила 175 млн рублей.
Комплект, разработку которого проведёт подрядчик, предназначается для замены лазеров модели 5517C и фотоприёмников моделей E1709A и 10780F производства американской компании Keysight в зарубежном оборудовании, а также в действующем и разрабатываемом отечественном оборудовании, применяемом в производстве ИС (интегральных схем) с проектными нормами до 65 нм.
В списке оборудования, в котором планируется использовать импортозамещённые лазеры и фотоприёмники, указываются литографические степперы и сканеры Nikon, метрологические РЭМ (машины испытательные универсальные) для контроля критических размеров Hitachi, установки контроля дефектности на п/п пластинах AMAT Compass, установки лазерного устранения недопустимых дефектов на фотошаблонах, установки электронно-лучевой литографии.
Система позиционирования оборудования предназначается для чёткого наложения слоёв на фотошаблон при производстве интегральных схем (микросхем). При этом зазор, с которым накладываются слои, значительно меньше, чем необходимые 65 нм. В такой работе важна высокая точность.
Ранее представитель АО «Микрон» рассказал «Телеспутнику» о разработке отечественных фотолитографов с топологическими нормами 350-90 нм.
